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產品類別:光罩外觀瑕疵檢查機AOI -
產品名稱:光罩外觀瑕疵檢查機
產品編號:2201
產品簡介:
詳細說明:

功能：（線掃描檢測）：

1.代替IRIS(ASML)； 

2.PDS(尼康)玻璃和薄膜檢測:

 

玻璃和薄膜檢測:

1.大於>5um的缺陷尺寸可檢測能力

2.玻璃和薄膜側的顆粒去除功能

3.佳能、尼康和 ASML 面具兼容

4.通過在線和離線查看缺陷圖片

5.SECS GEM 與客戶 IT 的接口
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